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[Business Trends]인테그리스, Oktolex™ 멤브레인 선보여

업계동향 | 김진성 기자 | 입력 2018.02.27

[Business Trends]인테그리스, Oktolex™ 멤브레인 선보여 - 다아라매거진 매거진뉴스
인테그리스 코리아 홍완철 사장



특수 재료 전문기업인 인테그리스가 최첨단 POU(point-of-use) 포토리소그래피 애플리케이션을 위한 혁신적인 Oktolex™ 멤브레인 기술을 선보였다.

인테그리스는 지난 1월 30일 그랜드인터컨티넨탈 호텔에서 국내 언론사들을 대상으로 Oktolex™에 대해 소개하는 자리를 마련했다.

Oktolex의 혁신적인 멤브레인은 각 화학 물질의 요구에 맞게 각 멤브레인 유형들이 저마다 보유한 고유의 메커니즘을 강화하여 중요한 광화학적 오염 물질을 제거한다. Oktolex 멤브레인은 특정 오염 물질 흡착 메커니즘에 멤브레인 특성을 일치시킴으로써 화학적 조성과의 불리한 상호 작용없이 제거 성능을 최적화한다.

인테그리스 코리아의 홍완철 사장은 “기존 방식에서 탈피해 로직, DRAM, 3D NAND 디바이스 제조용 ArF, KrF 및 EUV 애플리케이션의 특정 오염 제어 요구 사항에 대한 맞춤형 접근 방식을 통해 가장 까다로운 오염 물질을 제거할 수 있는 보다 빠르고 깨끗하고 효과적인 방법을 개발했다”며 “이 기술의 진정한 이점은 화학적 조성을 변화시키지 않으면서 표적 오염 물질을 효과적으로 제거하는 멤브레인을 만들 수 있다는 점이다.

이러한 이점들 덕분에 인테그리스는 고객과의 협력을 통해 첨단 노드의 요구 사항을 충족하고 장비의 다운타임을 줄이는 정밀 오염 제거 솔루션을 만들 수 있다”고 말했다.

한편, 이 자리에서는 인테그리스가 반도체 및 생명과학 산업의 액체 응용분야용 입도측정기(particle sizing instrumentation) 주력기업인 PSS(Particle Sizing Systems, LLC.)를 인수했다는 내용도 함께 발표됐다.

이번 인수는 인테그리스의 글로벌 기술 플랫폼과 고객 관계를 활용함으로써 자사 기업 가치를 높이고자 하는 사업 전략의 일환이다. 총 인수 비용은 현금 3천7백만 달러이며, 관례적인 운전자본조정 절차가 남아 있다.

디지털 전환이 이루어지면서 최첨단 로직 및 메모리칩을 탑재한 정교한 클라우드 컴퓨팅 인프라에 대한 수요가 계속해서 늘어나고 있다. 그러나 첨단 노드를 활용하는 제조회사들은 점점 축소되고 있는 프로세스 윈도우와 높은 팹 비용으로 이미 어려움을 겪고 있는 상황이지만 수익을 유지하고 CMP 성능과 관련한 손실을 줄이기 위해 노력하고 있다.

인테그리스는 PSS 인수를 통해 확보한 기술로 액체류 프로세스에서 바로, 온라인 및 실시간 입도 분석 수행을 지원할 수 있게 됐다. 모니터링 프로세스를 자동화하면 적절한 필터 선택 및 시스템 유지관리 등 더 효과적인 솔루션 활용이 가능하다. 또한 이러한 솔루션 활용을 통해 수율과 관련해 치러야 할 값비싼 대가를 줄일 수 있다.

weekendk@kidd.co.kr

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